科研成果

面向极端光刻场景的原子级尺度测量与表征技术，实现关键工艺环节纳米/亚纳米级精度控制，为高端光刻装备研发提供测量支撑。

原子级制造智能装备整机与核心部件设计技术，覆盖运动控制、环境控制、工艺集成等关键子系统，支撑装备自主可控。

"设计—制造—关键零部件"全链条中试能力建设，为高校团队与产业界提供从原理样机到工程化验证的一站式转化服务。