围绕原子级制造全技术链条，研究院布局四大研究方向，贯通"基础研究—技术攻关—中试转化"创新路径。
聚焦极端光刻原子级制造及测量技术，开展原子级尺度加工、检测、表征与量测方法研究，突破"看得见、测得准、造得出"的核心瓶颈。
面向未来制造新范式，推进原子级制造智能装备新技术研发，攻关装备数字化、智能化与系统集成关键技术，形成自主可控的装备技术体系。
建设智能装备"设计—制造—关键零部件"全链条产业技术中试基地，打通实验室成果走向产业化的最后一公里，服务产业链上下游协同创新。
打造高端装备新兴产业卓越工程师培养基地，深化产教融合与国际交流，建设产业技术赋能国际中心，输出中国原子级制造技术与标准。
原子级制造原理、材料与工艺基础
光刻、测量与智能装备核心技术突破
全链条中试验证与产业化落地